掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000

更新時(shí)間：2021-01-11

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掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000詳細(xì)介紹

緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm*1
通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器（UVD*2），實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
大窗口（30 mm2）SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2

?掃描電子金屬顯微鏡 FlexSEM 1000技術(shù)規(guī)格

項(xiàng)目		內(nèi)容
分解能*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300,000× （底片倍率） 16× ～ 800,000× （顯示倍率）
低真空模式		真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍		預(yù)對(duì)中鎢燈絲
樣品臺(tái)		3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái) X：0 ～ 40 mm, Y：0 ～ 50 mm, Z：5 ～ 15 mm R：360°, T：-15° ～＋90°
大樣品尺寸		直徑80 mm
大樣品高度		40 mm
尺寸		主機(jī)：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測(cè)器選配		高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器（UVD）能量分散型X線探測(cè)器（EDS）

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